
최우수상은 부산대 이호준 교수가 ‘이온 소스 헤드 및 이를 포함하는 이온 주입 장치’ 특허로 수상했다.
본 특허는 고진공, 저유량에서도 고주파 플라즈마를 생성할 수 있다. 또 기존 대비 플라즈마 효율을 향상 및 이온 소스 사용주기를 두 배 이상 개선해 비용을 절감할 수 있어 기술적으로 높은 평가를 받는다.
우수상은 울산과학기술원 노삼혁 교수, 장려상은 이화여대 박찬혁 교수, 연세대 노원우 교수, 성균관대 전정훈 교수가 수상했다.
SK하이닉스는 산학협력 대학교가 연구과제 수행과정에서 출원한 특허 중 우수특허를 선별해 연구자의 사기를 북돋우고 개발을 장려하기 위해 2013년부터 매년 포상식을 열고 있다.
올해 포상식은 신종 코로나바이러스 감염증(코로나19) 확산을 고려해 SK하이닉스 구성원들이 수상자 학교를 직접 찾아가 상패를 전하는 방식으로 진행했다.
정은경 기자 ek7869@fntimes.com